X射线荧光光谱仪采用脉冲高度分析器将不同能量的脉冲分开并测量。能量色散X射线荧光光谱仪可分为具有高分辨率的光谱仪,分辨率较低的便携式光谱仪,和介于两者之间的台式光谱仪。高分辨率光谱仪通常采用液氮冷却的半导体探测器,如Si(Li)和高纯锗探测器等。低分辨便携式光谱仪常常采用正比计数器或闪烁计数器为探测器,它们不需要液氮冷却。X射线荧光光谱法有如下特点: 分析的元素范围广,从4Be到92U均可测定;
荧光X射线谱线简单,相互干扰少,样品不必分离,分析方法比较简便;
分析浓度范围较宽,从常量到微量都可分析。重元素的检测限可达ppm量级,轻元素稍差;
分析样品不被破坏,分析快速,准确,便于自动化。
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